Invisix, een Nederlandse techstartup, heeft 20 miljoen euro opgehaald om zijn soft-x-ray-metrologiesysteem verder te ontwikkelen. Het systeem stelt chipfabrikanten in staat om de meest geavanceerde lagen van halfgeleiders nauwkeurig en niet-destructief te meten — een cruciale stap in de productie van moderne chips. De technologie maakt gebruik van High Harmonic Generation (HHG), een methode die in 2023 de Nobelprijs voor Natuurkunde kreeg.

Invisix bouwt voort op een technologiepakket dat is gelicentieerd van ASML, waarvan het team leden afkomstig zijn. Door HHG te combineren met zelfontwikkelde algoritmen en machine learning, genereert het bedrijf gedetailleerde 3D-beelden van interne chipstructuren die traditionele optische methoden niet kunnen detecteren. Dit stelt fabrikanten als Intel en imec in staat om next-generation transistorarchitecturen beter te analyseren.

De testbank voor 300mm-wafers is onlangs verhuisd naar een nieuwe cleanroom in Eindhoven, waar klantdemonstraties en productontwikkeling gelijktijdig worden uitgevoerd. De financiering markeert een belangrijke stap in het schalen van de technologie voor industriële toepassing.